(서울=파이낸셜리더스) 이현제 기자 = 지난해 일본이 수출규제 조치를 취한 후 불화수소 가스 양산에 앞선 SK머티리얼즈가 소재 국산화 작업에 성과를 얻었다.
17일 SK그룹은 SK머티리얼즈가 최근 순도 99.999% 불화수소 가스 양산을 시작했다고 밝혔다.
초고순도 불화수소 가스는 반도체 디스플레이 제조에 쓰이는 세정 가스다. 반도체 공정 미세화로 수요는 급증하는데 해외 의존도가 100%에 달했다.
또한 일본 정부가 한국에게 수출을 중단했던 3개 소재(플루오린 폴리이미드, 포토레지스트, 불화수소) 중 가장 마지막으로 수출을 허거한 품목이다.
SK머티리얼즈는 작년 말 시제품 개발에 성공하고 경북 영주공장에 15t 규모 생산시설을 지었다.
2023년까지 국산화율을 70%까지 끌어올리는 것이 목표다.
SK머티리얼즈는 최근 고부가 제품인 하드마스크(SOC)와 불화아르곤 포토레지스트(ArF PR) 개발에도 나섰다.
반도체 웨이퍼 위에 포토레지스트를 바르고 노광 장비로 빛을 쏘면 회로 패턴이 새겨진다. SOC는 포토레지스트 보조재로 패턴이 무너지지 않게 보호해 주는 소재이며 두 제품 모두 초미세 패턴 형성에 쓰이는 고부가 제품이다.
불화아르곤 포토레지스트의 해외의존도는 90%이며 제품 양산이 본격화 되면 국내 제조사들에게 많은 공급을 할 수 있다.
SK머티리얼즈는 내년에 생산시설을 준공하고 2022년부터 연 5만갤런 규모 포토레지스트를 생산할 계획이다.
SK실트론도 지난해 미국 듀폰사로부터 전기차에 필수 소재인 차세대 전력 반도체용 SiC(실리콘카바이드) 웨이퍼 사업을 인수했다.
현재 실리콘카바이드 웨이퍼 사업은 미국·유럽의 몇몇 업체가 세계 시장을 과점하고 있다.
SK그룹은 소재 국산화 과정에서 확보한 역량을 중소기업 협력으로 연결해서 상생하며 국내 반도체 생태계 발전에 나설 계획이다.
SK하이닉스는 4천억 원 규모의 상생펀드를 조성해서 협력사들에 저금리 융자를 제공하며, SK그룹 내 소재사들은 중소 협력사들에게 기술과 노하우를 공유할 예정이다.
SK머티리얼즈는 지난해 11월 영주 본사에 '통합분석센터' 연구개발(R&D) 시설을 세워 한국표준과학원 등과 함께 본격적으로 중기 분석 서비스 준비를 시작했다.
SK그룹 관계자는 "우리의 노하우를 투자비나 전문 인력 확보에서 어려움을 겪는 중소기업들과 공유해서 업계 전체 발전을 도모할 것"이라며 "이를 통해 반도체 산업 경쟁력을 키우고 고용 창출 효과도 내겠다"고 말했다.
